三维光学轮廓仪系统配备自动化扫描平台，藉由垂直轴自动化移动平台的扫描功能搭配快速的自动对焦算法，可有效辅助用户找到*的对焦位置，另外藉由倾斜调整平台可快速地将待测物调平，在短短的几秒钟之内无需繁复的操作，系统即可自动将待测物体调整至*对焦位置并予以调平进行量测。

 

目前商用白光干涉分析仪zui常使用之质心算法来计算表面高度，因光线绕射的效应在某些位置产生错误高度计算，造成量测结果边界轮廓出现错误的信息，本系列产品采用开发3D Profiler Master量测软件，并搭配Chroma干涉讯号处理算法来分析白光干涉图谱，可将边界错误问题予以避免。此外，系统亦搭载Chroma的暗点处理功能，可有效过滤并修正无法产生干涉之问题数据点，将这些暗点去除后可降低量测上的误差。由于暗点处理的机制在资料撷取期间执行，因此暗点滤除功能可有效率的执行，由于暗点乃参考其附件周围数据来进行修正，因此可使得量测更加强固且可靠。

 

三维光学轮廓仪新一代的系统模块化设计，具备高度弹性之组合配置，可针对不同之量测需求配置来符合不同之量测应用：搭载电动鼻轮，zui多可同时挂载5种物镜，使用时直接切换，省去手动更换的麻烦。同时配备电动调整移动平台，可对样品作自动调平及定位。垂直与水平轴向扫描范围大，适合各种自动量测之应用，样品皆不需前处理即可进行非破坏、快速的表面形貌量测与分析，使用于业界研发生产、制程改善以及学术研究等单位。

 

三维光学轮廓仪之高度分辨率可达0.1 nm，而搭配使用Z垂直轴量测扫描行程更可达到100mm，且水平轴向亦可达次微米解析，除此三维光学轮廓仪可透过计算机控制移动平台进行水平扫瞄，使其水平轴向量测范围可达到150 × 150mm，并可依据客户需求修改平台尺寸。三维光学轮廓仪搭配快速的校正程序以及演算原理，系统校正结果可以追朔至NIST标准，并结合数种创新且强固可靠的算法，因此本系列产品可同时拥有高度以及大范围量测的特质。